一、企业介绍

苏州贝特智能仪表有限公司，是国家高新技术企业及专精特新企业，技术传承自德国精密仪表制造体系，并深度参与流量计军用标准（GJB）的起草工作，在航空航天、军工等对可靠性有极致要求的领域拥有权威资质与实战积淀。

公司专注于热式气体质量流量控制器（MFC）的研发与制造，核心产品LF500C系列采用先进的微机电系统（MEMS）流量传感芯片，结合旁路分流器与电磁比例阀的精密设计，实现了对各类气体流量大小的高精度控制和智能化处理。产品已广泛应用于航空航天、半导体加工、医疗生物、电子汽车、钢铁冶金、船舶电子、工业制气等众多行业。

苏州贝特致力于打破进口品牌在高端气体流量测控领域的垄断地位，以对标国际一流品质、提供国产高性价比方案为使命，为国内客户提供交期短、服务响应快、可定制化的优质产品与技术支持。

二、LF500C系列核心产品介绍

LF500C系列热式气体质量流量控制器，是苏州贝特针对小流量气体精密测量与控制需求而打造的拳头产品。该系列采用MEMS流量传感芯片为核心感知元件，结合数字信号处理技术和智能流量控制算法，实现对气体流量大小的精准控制与智能化管理。

核心优势：

采用MEMS流量传感芯片，传感器具有高精度、抗干扰性强的特点，旁路分流器的流体呈层流状态，使测量和控制更加稳定和精准。

电磁比例阀采用常闭型设计，具有使用寿命长、灵敏度高等特点，断电自动关闭，可实现断气保护。

传感器零点长期稳定，无需频繁校准。

量程范围内精度高，重复性好。

典型控制响应时间小于1.5秒（T90），测量响应时间小于50ms。

标准机械接口，安装方便。

标配RS485通讯输出，标准MODBUS RTU协议。

采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读数方便；可通过按键直接输入控制流量，在液晶屏上实时显示控制流量和实时流量值。

标配4-20mA输入输出控制，可定制0-5V或0-10V输入输出控制。

三、技术参数

工作电源：DC24V / 12W

控制精度：±1.0% SP

测量精度：±1.0% FS

控制和测量量程比：1:100

阀类型：常闭型

工作温度：-10~55℃

湿度：<95%RH（无结霜、无结冰）

工作压力范围（测量）：0-1.5MPa

工作压力范围（控制）：100SCCM-30SLPM时为0.1-1.0MPa；100SLPM时为0.1-0.65MPa；300SLPM时为0.1-0.5MPa

典型控制响应时间：<1.5s（T90）

测量响应时间：<50ms

输出方式：4-20mA、1-5V、0-5V、0-10V 可选

通讯方式：RS485（Modbus RTU协议）

控制方式：按键操作、Modbus、4-20mA（1-5V）、0-5V、0-10V

机械连接：G1/4、PT1/2内螺纹，其他螺纹可定制

防护等级：IP40

可选择标况温度条件：0℃、20℃、25℃，用户可调，默认25℃

可选择气体类型：Air、N2、O2、CH4、Ar、CO2、He、H2、C3H8

备注：以上数据在25℃、101.32kPa、干燥空气下测得。

四、产品型号说明

LF500C系列提供灵活的选型配置，涵盖不同显示方式、管径规格、流量范围、机械接口、输出信号、控制信号、介质类型、压力等级和接液材质。

选型代码构成如下：

显示方式：S为不带显示，D为带显示。

管径：8表示DN8（流量范围0～14～140L/min），10表示DN10（0～22～220L/min），15表示DN15（0～50～500L/min），20表示DN20（0～90～900L/min），25表示DN25（0～140～1400L/min），32表示DN32（0～220～2200L/min）。以上每个规格的量程可定制，默认按50:1。

流量数值：如1表示1L/min，200表示200L/min，1500表示1500L/min，流量单位可选。

机械接口：PN0为G1/4内螺纹（DN8），PN1为G3/8内螺纹（DN10），PN2为G1/2内螺纹（DN15），PN3为G3/4内螺纹（DN20），PN4为G1内螺纹（DN25），PN5为G1-1/4内螺纹（DN32）。螺纹类型默认G，可选NPT、Rc、Rp，也可接受定制。

输出信号：N0为RS485和4-20mA（默认），N1为RS485和1-5V（需定制），N2为RS485和4-20mA、脉冲（需定制），N3为RS485和4-20mA、PNP（需定制），N4为电池供电、液晶显示、无输出（需定制），N5为4-20mA、RS485和4-20mA、PNP（需定制）。

控制信号：MA为4-20mA，DC为1-5VDC，RS为RS485。

介质：AIR为空气（默认），MG为混合气体（如N2、O2、CO2等混合），L为非腐蚀液体，其他气体可定制。

压力等级：P0为≤1.6MPa（默认），P1为高压定制。

接液材质：AL为铝合金（默认），R1为304不锈钢，R00为316L不锈钢。

完整选型示例：LF500C D 10 200 G1/2 NO RS AIR PO AL

五、正确使用方法

安装：设备支持任意角度安装。注意壳体标识“FLOW”箭头，严格按照箭头方向接气路，禁止反向进气。根据工况选用合适的接头（卡套接头、快插接头、宝塔接头均可选配），管路做好密封，避免漏气。

供气条件：通入气体必须洁净、干燥、过滤，前端建议加装过滤器，杜绝粉尘、油雾、液态水进入MFC内腔。工作压差需符合规格要求。

通电与信号连接：直流24V供电。根据系统选用模拟信号（4-20mA / 1-5V / 0-5V / 0-10V）或RS485数字通讯。DB9引线说明详见产品手册。

参数设置与调试：通过按键或Modbus设置流量设定值。从低流量逐步上调设定值，避免瞬间满量程冲击阀门。

六、日常维护要点

日常巡检：定期检查接头有无漏气；观察流量读数零点是否漂移；工作温度维持-10~55℃，湿度<95%RH无凝露。

气路过滤维护：前端过滤器定期更换，粉尘进入传感器会直接造成精度下降。

清洁：外部壳体用干燥软布擦拭；严禁液体冲洗整机，不允许溶剂直接冲洗气路内部；内部传感器不可自行拆解。

长期停机：停机前通入干燥惰性气体吹扫内腔，关闭上游气源，断电存放，做好防尘保护。

标定周期：工业现场建议每6-12个月做一次流量标定；实验室高精度场景建议每半年标定。

禁止操作：用户不要自行拆开阀体、传感器组件，拆解会破坏出厂标定数据。

七、使用注意事项

介质限制：LF500C适用于洁净干燥气体。腐蚀性、有毒气体须选用对应特种气体版本，普通机型不能使用腐蚀性气体。

严禁超压：瞬时高压冲击会损伤传感器和比例阀，上游建议加装减压阀。

禁止液态物质进入：液态水、油、颗粒物进入MFC会造成传感器堵塞、零点漂移甚至损坏。

避免剧烈震动：搬运过程轻拿轻放，避免高温热源直接烘烤机身。

断电保护：断电后阀门自动关闭（常闭阀），但不可作为安全截止阀，高危工况上游仍需加装专用切断阀。

参数修改：不要随意修改内部软件参数；修改参数前记录原有配置。

气体转换：使用非标定气体时，须使用气体转换系数修正读数。

八、质量保证与售后服务

苏州贝特遵循ISO9001质量管理与控制体系，产品采用全新的原材料和元器件生产，并经过严格的工厂测试。

自交货之日起两周内，如存在可认可的质量缺陷，免费负责更换。

自交货之日起一年内，正常使用过程中非因使用不当或人为因素导致的损坏，免费负责维修。

属于保修期内的产品，用户承担寄出费用，我司承担更换或维修及寄回费用。

提供专业技术咨询与故障报修快速响应。用户所寄出的产品一经确认，48小时或两个工作日内寄出新的或已维修的产品。

支持量程、接头、通讯协议、特种气体版本等定制开发。

九、MODBUS通讯寄存器简表

LF500C系列标配RS485通讯，标准MODBUS RTU协议，通讯参数默认9600、8数据位、1停止位、无校验，浮点数数据排列方式为2143，读取数据功能码为03（读保持寄存器）。

苏州贝特智能仪表有限公司