直接质量测量，无需温压补偿：苏州贝特TMF/LF500系列热式气体质量流量计全场景解决方案

直接质量测量，无需温压补偿：苏州贝特TMF/LF500系列热式气体质量流量计全场景解决方案

在工业气体流量测量领域，传统的体积流量计（如涡街、孔板等）需要同时测量温度、压力并进行繁琐的补偿计算，才能间接获得质量流量数据。而热式气体质量流量计凭借直接测量质量流量、无需温度压力补偿、量程比宽、压损极小等核心优势，正在成为石油化工、半导体制造、新能源、环保监测等高端应用场景的首选设备 。据行业统计，2025年国内热式气体质量流量计市场规模约86.7亿元，同比增长12%以上；全球市场规模预计从2024年的21.2亿美元增长至2033年的39.6亿美元。随着半导体、光伏、氢能、生物制药等高端制造领域扩产提速，市场需求持续释放。

作为国家高新技术企业、专精特新企业以及仪表军用标准（GJB）起草单位之一，苏州贝特智能仪表有限公司依托近三十年的技术积淀与德国技术的引进消化经验，推出了TMF系列热式质量流量计与LF500系列小口径气体质量流量计 两大产品线，覆盖从微小流量到大管径、从常温到高温、从非防爆到隔爆的各类气体测量场景。本文将带您全面了解贝特热式气体质量流量计的产品体系、技术优势与全场景应用。

一、公司实力：技术立企，军工品质

苏州贝特智能仪表有限公司成立于2007年，坐落于江苏省苏州市东桥工业开发园区，是一家集研发、设计、制造、销售、自动化仪表集成与系统成套服务为一体的高科技创新型企业。公司先后被认定为国家高新技术企业、专精特新企业、全国科技型中小企业，并入选苏州市科技金融入库企业，同时是中国仪器仪表行业协会、江苏省及苏州市环保协会会员单位，还加入了FCG基金会国际组织。

公司在行业内地位卓越——是全国工业过程测量控制和自动化标准化技术委员会（TC124）委员单位，深度参与国标与军标的制定，并担任流量计军用标准（GJB）起草单位之一，持有军用仪表生产资质及特种设备（TSG）制造许可证。

公司核心技术人员早在上世纪90年代末便参与德国先进流量仪表技术的引进、消化及国产化工作，产品深植严谨精密的"德国基因"。公司坚持自主研发，累计拥有发明专利2项、实用新型专利45项、软件著作权27件，多项科研成果达到国内领先甚至国际先进水平。

在资质认证方面，公司先后通过ISO9001、ISO14001、ISO45001体系认证，取得SIL功能安全认证、防爆认证（本安Ex ia IIC T3～T6 Ga、隔爆Ex db IIC T6 Gb）、欧盟CE出口许可及国家技术监督局颁发的计量器具型式批准证书 。

在生产端，公司拥有15亩现代化厂区、4000㎡标准化车间，配备全自动SMT电子流水线、精密数控车床/铣床、全自动环缝焊机等先进设备，并建有两条液体标定测试线和一条中小流量气体标定测试线。每台产品出厂前均经实际标定、校验，确保"零缺陷"出厂。

二、热式气体质量流量计：原理与核心优势

工作原理

热式气体质量流量计基于热扩散原理设计，采用恒温差法对气体进行准确测量。其核心是在测量管路中设置加热元件和测温元件，当气体流过时带走热量，仪表通过维持加热元件与被测气体之间恒定的温差 ，测量所需的加热功率，该功率与气体的质量流量成正比。

核心优势

相比传统体积流量计，热式气体质量流量计具有以下显著优势：

• 直接测量质量流量：无需额外测量温度、压力，无需繁琐的补偿计算，测量结果真实反映气体质量流量

• 量程比极宽：可达100:1甚至更高，同一台仪表可覆盖从极小流量到较大流量的测量范围

• 压损极小：传感器结构简单，几乎不产生压力损失，特别适合低压气体管路

• 响应速度快：恒温差法采用主动温度控制，响应速度极快

• 安装维护方便：体积小、重量轻，插入式安装无需停产开孔

三、TMF系列热式质量流量计：产品详解

TMF系列是贝特面向中大型管道气体流量测量推出的主力产品，采用法兰式、螺纹式和插入式三种连接方式，覆盖DN25～DN5000的宽广通径范围。

产品型号与选型

TMF系列选型代码结构清晰，用户可根据工况灵活配置【8†L34-L45】：

技术亮点

• RS-485通讯：标配RS-485通讯接口，支持Modbus RTU协议，可以实现工厂自动化、集成化

• 全面的气体适应性：适用于氧气、氮气、氩气、氦气及多组分气体测量；高炉煤气、焦炉煤气测量；天然气、液化气、火炬气等气体流量测量

• 丰富的应用场景：电厂高炉的一次风、二次风流量测量；矿井下通风或排风系统流量测量；烟道气测量、压缩空气测量

• 多种防爆选项：提供隔爆型（Ex db IIC T6 Gb），适用于易燃易爆危险场所

四、LF500系列小口径气体质量流量计：产品详解

LF500系列是贝特专门为小口径小流量气体的测量和过程控制而设计的精密仪表。这一系列传感器均采用高可靠型流量传感元件，仪表体积小巧，特别适合狭小空间的安装。

产品特点

• 灵敏度极高：有极小的初始流量，可测量微小流量

• 液晶显示：带有液晶显示屏和设置按键，操作简单，读数直接，显示内容可以根据安装方向旋转，方便读数

• 零点和全量程稳定：零点流量稳定，全量程高稳定性

• 高精度与优良重复性：全量程高精度和优良的重复性

• 低功耗、低压损：传感器压损极低，功耗低

• 响应快速：流量响应速度快

• 安装无方向要求：管道安装方向无要求，安装方便

产品型号与选型

LF500系列选型同样灵活：

技术参数

五、全场景应用：覆盖国民经济主要领域

1. 半导体制造

半导体制造工艺（CVD、PVD、蚀刻、扩散、离子注入等）对特种气体的配比精度要求达到ppm级。热式质量流量计通过非接触式测量，可在0.01～100SLM范围内实现全量程精准控制。

• 典型应用：硅烷、氨气、氮气等特种气体的精密配送与控制；CVD、PVD等关键设备的工艺气体精准测量

• 推荐产品：LF500系列（小口径、高精度、快速响应）

• 核心优势：避免微小流量波动影响芯片质量，快速响应匹配脉冲式供气需求

2. 新能源与氢能

在新能源领域，特别是氢能产业链中，热式质量流量计展现出独特优势。可用于氢能燃料电池测试、氢气制备与输送等场景。

• 典型应用：氢能燃料电池测试台架气体流量测量；光伏电池生产中的工艺气体精准控制；锂电池干燥工艺氮气流量监测

• 推荐产品：TMF系列（插入式/法兰式）、LF500系列（小流量）

• 核心优势：直接测量质量流量，不受温度压力变化影响，测量准确可靠

3. 石油化工

石油化工行业涉及大量易燃易爆气体的测量，对仪表的安全性和可靠性要求极高。

• 典型应用：天然气、液化气、火炬气流量测量；炼化装置工艺气体监测；化工反应釜进料气体控制

• 推荐产品：TMF系列（隔爆型）

• 核心优势：隔爆认证（Ex db IIC T6 Gb），适应危险场所；直接质量测量，无需温压补偿

4. 环保监测与市政

环保领域对烟道气、工业废气排放量的测量需求日益增长。

• 典型应用：烟道气测量；污水处理曝气池气体流量监测；垃圾焚烧发电厂风管道流量测量；烟气连续排放监测系统（CEMS）

• 推荐产品：TMF系列（插入式，适合大口径烟道）

• 核心优势：插入式安装无需停产开孔；量程比宽，适应烟气流量大幅波动

5. 电力与冶金

• 典型应用：电厂高炉的一次风、二次风流量测量【8†L28】；锅炉助燃风/送风流量监测；焙烧炉系统气体流量测量；矿井下通风或排风系统流量测量【8†L28】

• 推荐产品：TMF系列（法兰式/插入式）

• 核心优势：耐高温（最高200℃），适应恶劣工况；无需温压补偿，测量稳定可靠

6. 压缩空气与工业气体

压缩空气是工业领域最常用的动力源之一，其流量计量是能源管理的重要环节。

• 典型应用：压缩空气总管及分支管路流量测量；工业制气（氧气、氮气）计量结算；天然气、液化气贸易计量

• 推荐产品：TMF系列（法兰式/螺纹式）

• 核心优势：压损极小，不增加管路能耗；直接质量流量，适合贸易结算

7. 医药与生物

• 典型应用：医用供氧系统流量监测；生物发酵过程气体流量控制；实验室气体分析设备配套

• 推荐产品：LF500系列（小口径、高精度）

• 核心优势：体积小巧，适合狭小空间；高精度和优良重复性；可选电池供电（N4选项）

8. 窑炉与燃烧控制

• 典型应用：窑炉设备助燃空气/燃气流量测量；燃烧控制系统气体配比

• 推荐产品：TMF系列（耐高温型3G，-10℃～+200℃）

• 核心优势：耐高温设计，适应窑炉周边高温环境；快速响应，匹配燃烧控制需求

9. 真空技术与科研

• 典型应用：真空镀膜设备工艺气体测量；实验室气体流量分析；科研装置微小流量测量

• 推荐产品：LF500系列（小口径、低功耗）

• 核心优势：传感器压损极低，适合真空系统；功耗<1W，适合长期连续运行

六、为什么选择苏州贝特？

1. 军工标准，品质保障：作为仪表军用标准（GJB）起草单位之一，产品设计、测试、生产全程满足军用可靠性要求

2. 技术底蕴深厚：核心技术人员早于1997年参与德国流量仪表技术的引进与国产化工作

3. 产品矩阵完整：从DN8小口径到DN5000超大管径，从ml/min微小流量到m³/h大流量，从常温到200℃高温，覆盖几乎所有气体测量场景

4. 灵活定制能力：特殊介质、特殊接口、特殊流量范围、特殊材质均可定制

5. 认证齐全：ISO9001、ISO14001、ISO45001、SIL、防爆（本安/隔爆）、CE、TS等多项权威认证

6. 服务响应快速：标准产品快速交货，定制产品高效交付，全国400热线24小时技术支持

七、结语

从半导体洁净车间的特种气体精密配比，到电厂烟道的烟气排放监测；从氢能燃料电池的测试台架，到医用供氧系统的流量保障——苏州贝特TMF/LF500系列热式气体质量流量计以直接质量测量、无需温压补偿的卓越性能，为各行业用户提供了精准、可靠、高效的气体流量测量解决方案。

作为国家高新技术企业、专精特新企业以及仪表军用标准（GJB）起草单位，苏州贝特将继续深耕流量计量领域，以持续的创新和卓越的品质，助力中国仪表行业高质量发展，为客户创造更大价值。

苏州贝特智能仪表有限公司

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