微型热式气体质量流量计

微小型热式气体质量流量计是一种基于热扩散原理的精密测量仪表，主要用于微小气体流量的质量流量检测‌。其核心通过铂电阻传感器测量气体流动时的热传导变化，直接输出质量流量数据，无需温压补偿‌。专为小流量、低流速场景设计。

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一、产品简介

微型热式气体质量流量计是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列的传感器均采用先进的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径,成本低,易安装，不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。

二、产品特点

★采用MEMS传感器，响应速度快；

★ 零点稳定，精度高、重复性好；

★ 量程比宽，流量范围可选；

★ 显示方向（0°、90°、180°、270° ）可选；

★ 多种信号输出可选；

★ 标准机械接口可选；

三、技术参数
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四、在行业领域的广泛应用

微小型热式气体质量流量计凭借其高精度、宽量程比和直接质量流量测量特性，在多个行业领域具有广泛应用：

1、工业过程控制领域：

石油化工‌：监测天然气、氢气等易燃易爆气体的流量，确保工艺安全‌；
半导体行业：用于特种气体的精密配送与控制，避免微小流量波动影响芯片质量‌；

窑炉行业：微小型热式气体质量流量计在窑炉行业中用于精确控制氧气、氮气等气体流量，优化燃烧效率并保护高温材料

光伏行业：微小型热式气体质量流量计在光伏行业主要用于硅烷、氮气等工艺气体的精准控制，通过热式原理实现高精度测量，适用于CVD、PVD等关键设备，提升电池转换效率；
能源管理‌：计量压缩空气、氮气等公用工程气体消耗，优化能源利用效率‌。

2、精密测量与科研领域
‌ 实验室研究‌：在化学实验中精确控制微量试剂流量（如0.1KG/H），确保实验可重复性‌；
‌环境监测‌：测量烟道气、工业废气排放量，满足环保法规要求‌；
‌材料科学‌：用于特种材料制备过程中的气体流量控制；
3、医疗与健康领域
‌呼吸机与麻醉机‌：实时监测气体流量变化，精准调节氧气和麻醉气体输送量‌；
‌家庭氧疗设备‌：确保患者获得稳定的供氧浓度‌；
4、环保与能源领域
‌大气污染防治‌：实时监测工业废气排放流量，结合气体成分分析提供排放总量数据‌；
‌新能源开发‌：用于氢能燃料电池测试等场景‌；
5、其他特殊场景
‌汽车电子‌：监测发动机进气流量，优化燃油喷射效率‌；
‌食品制药‌：高纯度气体计量与流程控制‌。

五、机械尺寸

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